核心技術(shù)
通過(guò)上述核心技術(shù),結(jié)合自主研發(fā)的晶體生長(zhǎng)爐和智能控制系統(tǒng),優(yōu)化節(jié)能熱場(chǎng)設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)12英寸及以上硅晶體的生長(zhǎng)工藝;生產(chǎn)能耗與國(guó)外同類產(chǎn)品相比,將大大降低。
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通過(guò)上述核心技術(shù),結(jié)合自主研發(fā)的晶體生長(zhǎng)爐和智能控制系統(tǒng),優(yōu)化節(jié)能熱場(chǎng)設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)12英寸及以上硅晶體的生長(zhǎng)工藝;生產(chǎn)能耗與國(guó)外同類產(chǎn)品相比,將大大降低。